深圳市广思科技有限公司

简  介

5635型MP离子风棒，是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。

特点：

Ø  采用在世界上无与伦比的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。

Ø  通过独特的MP（脉冲调制）方式，可以有效的发挥离子除电性能。

Ø  平衡的电位，即使是在距100mm的距离也可用使用的特性及静电杆长且离子平衡度好。

Ø  通过智能控制电路，可自动管理离子发生状态及离子平衡度。

Ø  1/4圈可以拆卸更换电极，有助于减少维护工时。

Ø  电位波动小的MP方式的特性，简化了组装。另外，电位波动小可以保持离子平衡度在管理的基准内。

Ø  设定了适合半导体前工序EFEM用的除静电棒长度。

Ø  内置24V  DC驱动控制器的小巧紧湊型设计。

Ø  可用于全球高层次网络。

产  品  规  格

输入电压

24V  DC  +  /  -10％

输出电压

最大可调至约13.5kv  PP

安装距离

100毫米?1000毫米（无空气净化）

离子生成方式

电晕放电法

PM（脉冲变调）方式  变动频率　1  ～　33  Hz

 

 

离子平衡度

自动平衡调节方法
< +/-10V内离子风棒直下  根据位置的不同会有差异< +/-10v
(600  mm距離）

电极

单晶硅电极    可更换

吹气

清洁干燥的空气或氮气

最大气压力

310Kpa

臭氧产生量

< 0.05PPM（24时总值）

信号输出

报警IO    电极输出

 

  尺寸

高78mm*宽34mm*t长（如下值）

450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750

/  1900/2050/2200/2350Mm

外观

ABS树脂