等离子化学反应过程
等离子体化学反应过程中,等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下:
(1)电场+电子一高速电子+高速离子
(2)电子+分子(或原子)一(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团+分子(原子)一生成物+热
(4)活性基团+活性基团一生成物+热
过程一:高能电子直接轰击
过程二:产生氧原子、臭氧、羟基自由基及小分子碎片02+2e→0.
02+0.→03+e
H20+2e→H.+HO.
H20+O.+e-÷2HO.
H.+  02→HO.+0
C(a+b)H(m+n)O(x+y)+2  e→CaHmOx.+CbHnOy
将绝缘介质插入放电空间的一种气体放电。介质可以覆盖在电极上,也可以悬挂在放电空间里,当在放电电极间施加一定频率(50  MHz至几K赫兹)的-  Kv的交流电压时,电极间的气体就会被击穿产生碳阻挡气体放电。在大气压或高于大气压条件下,间隙内的气体放电由许多在时间上和空间上随机分布的微放电构成,这些微放电的持续时间很短,一般为纳秒量级【20】。由实验观察,微放电通常呈现一些相当均匀的圆柱型微通道,每一个微通道就是一个强烈的流光放电击穿过程,带电粒子的输运过程及等离子体化学反应就发生在这些微放电通道内。因此一些研究者将微放电作为碳等离子体的主要特性,并通过研究微放电的性质来研究碳等离子体的整体特性。从碳的物理过程来看,电源电压通过电介质电容耦合到放电间隙形成电场,空间电子在这一电场作用下获得能量,与周围气体发生非弹性碰撞,电子从外加电场取得能量转移给气体分子,气体被激励后,发生电子雪崩,出现了相当数量的空间电荷。