宝鸡盈钛金属材料有限公司

ITO靶的主要生产工艺是：将三氧化二铟和三氧化二锡按一定比例混合均匀——-冷等静压成坯——-热等静压制成靶——-线切割——-客户需要尺寸

1、产品：氧化铟锡靶材相对密度为：RD99；纯度≥99.99%

2、化学成分

In2O3    :  SnO2    =  90:  10（m/m），偏差为±0.5%（m/m）。

In2O3    :  SnO2    =  97:  3（m/m），偏差为±0.5%（m/m）。

3      物理性能

3．1      相对密度：相对密度≥99％；密度均匀性偏差≤±0.2％；

3.2    电阻率：≤2.0Ω·mm2/m；

3.3    平均线膨胀系数：（2～9）×10-6  ℃-1    ；

3.4    失氧率：≤5％

4  物理规格

氧化铟锡靶材呈片状或其它形状，最大尺寸为∮250*300，其规格尺寸及其偏差由供需双方商定。