真空机组有罗茨真空泵与液环、往复、旋片、干泵等前级真空泵串联构成的真空泵组。根据配置的罗茨真空泵级数和不同类型的前级泵可以获得不同的极限压力和抽气速率,以满足不同的工艺需求。
真空机组运行成本低,运转平稳可靠;统一的整体式设计,紧凑且易于安装RVP(ZJ/ZJB)罗茨真空和技术先进的前级泵,保证其连续运行之可靠性等性能特点。
真空机组根据配置的罗茨真空泵级数和不同类型的前级泵可以获得不同的极限压力和抽气速率,以满足不同的工艺需求。
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