深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售磁控溅射用的靶材。在溅射工艺中,等离子体不断生成,同时离子受到电场的作用力,不断的向靶材表面撞击。
深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售磁控溅射用的靶材。用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体,和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入氩气和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。
深圳众诚达应用材料科技有限公司生产销售的AZO靶材,AZO靶材属于ZnO系薄膜材料,具有优良的光学、电学性能。主要用于制备AZO薄膜,AZO薄膜是一种透明导电膜,具有与ITO薄膜相比拟的光学与电学特性,并具有制备工艺简单、价格低、无毒与稳定性好等特点,在一种良好的导电薄膜材料。目前AZO靶材,广泛应用于薄膜太阳能电池、建筑玻璃、导电玻璃、电磁屏蔽、热阻挡层等大面积镀膜玻璃领域。