浚和（上海）仪器有限公司

等离子清洗机在半导体、电子材料干式清洗中的应用越来越广泛，如硅晶片的光刻胶剥离、除去有机膜、界面活性化、微细研磨、除去碳化膜等领域，日本雅马拓YAMATO等离子清洗设备都发挥了积极作业。
除了半导体相关的清洗用途外，日本雅马拓YAMATO等离子清洗设备在其他各种领域也都有广泛应用，如与生物、医学相关的微芯片强度和流道亲水性的提高，浚和（上海）仪器有限公司，浚和仪器，眼镜镜片涂装前的处彐理，石棉分析前的处理，高分子材料粘合强度的提高，液晶屏粘合强度的提高等。
等离子清洗机主要使用目的

■高分子材料表面官能基粘合性，贴合性提升。通过氧化反应，在表面生成-OH，
＞C=O，.浚和仪器|||YAMATO等离子清洗机供应商
，-COOH等官能基（微量的水分和二氧化碳影响）。
即使是氮气等离子，表面被氮气原子包裹，也会生成-NH2的官能基。
■器件等保护膜脱离。
■原材料（金属，高分子，胶片，陶瓷等）表面改质。
■石棉前处理（膜滤器的灰化）。
■从电子器件到生物化学市场都可使用。
■PDMS芯片和玻璃，PDMS板的贴合。
日本雅马拓YAMATO等离子清洗机标准配备数字式皮拉尼传闩感器，实时显示真空度，使得控制更为精确PM100型可以覆盖实验室大部分的清洗、活化、表面改性工艺；标配石英腔体，非常适合于实验室处理比较纯净的样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染；装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报jing灯，可实时监测和了解机器的运转状态；装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报jing等安全功能；清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理，.浚和仪器|||YAMATO等离子清洗机供应商
，而且没有污染产生，环保；铰链门带观察窗可以方便观察腔体内样品的情况以及等离子起辉的情况。

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