济南兰桥净化工程有限公司

净化工程洁净室的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，首选应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。　湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

各种微生物的大小可如图1-1所示。大部分微生物在于0.3μm。病毒是最小的微生物，大约在0.005μm以上，其次是立克次氏体。细菌种类很多，多数在空气中以群体形式存在。常见的细菌大小为5.5～6.5μm，真菌为3.1～3.9μm，采用高效空气过滤器(0.5μm，过滤效率≥99.9%)基本上可将它们除去。