供应白光干涉仪,纳米深度3D形状显微检测仪,SWIM1510MS
白光干涉仪器SWIM-1510MS
SWIM1510MS
产品特点及用途
        结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含
●  晶体(Wafer)
●  光盘/硬蝶(DVD Disk/Hard Disk))
●  平面电组件(MEMS Components)
●  平面液晶显示器(LCD)
●  高密度线路印刷电路板(HDI PCB))
●  IC封装(IC Package))
    以上其它材料分析与组件微表面研究
专业级的3D图形处理与分析软体(Post Topo)
●  提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析
●  提供自动表面平整化处理功能
●  提供高阶标准片的软件自校功能
●  深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
●  线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Rorghness)与起伏度
●  (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer)
●  区域分析方式提供图形分析与统计分析。
●  具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能。
●  量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
专业级的3D图形处理与分析软体(Post Topo)
●  系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹
●  垂直高度可达0.1nm
●  高度的分析算法则,让你不在苦候测量结果
●  垂直扫描范围的设定轻松又容易
●  有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择
●  平台XYZ位置数显示,使检标的寻找快速又便利
●  具有手动/自动光强度调整功能以取得最佳的干涉条纹对比。
●  具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择。
●  具有专利的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌。
●  具有自动布补点功能
●  可自行设定扫描方向
技术规格参数
型号SWIM1510MS
系统配备显微镜、扫描控制器、移动平台、取像单元、个人电脑
显微镜单眼显微镜(标准配件)
干涉物镜(选配)放大率10X    20X    50
视野( mm)0.5    0.25    0.1
光学解析度(mm)1.12    0.84    0.61
影像缩放1.0X(标配)    0.5X(选配)
垂直扫描控制器扫描范围100um    400um
扫描解析度0.1nm
扫描模式自动
光强度调整自动/手动
扫描速度12nm/s
样品移动平台X、Y平面移动平面150mm*100mm,手动(标准配件)
Z轴移动平台80mm,手动(标准配件)
位置数位显示单元三轴光学尺与三轴数位显示器(解析度 1um)
偏移调整平台手动
取像单元影像感测量面型CCD(标准配件)
感测器解析度640*480(标准配件)
电脑配置Pentium-Computer ,17"LCD Monitor,120G以上硬盘
分析软体MS-Windows相容的资料撷取与分析软体 包含ISO粗糙度/阶高分析,快速薄利叶转换和滤波,多样的2D和3D观测视角图,外形分析,图像缩放,标准影像档案格式转换等等
阶高标准片(选配)50nm170nm230nm470nm1800nm
供应白光干涉仪,纳米深度3D形状显微检测仪,SWIM1510MS