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无尘室的分类

 
 无尘室依等级的不同而在气流设计上面有所区别，一般可分为垂直层流方式（Class1-100）、水平层流方式（Class1-1,000）、乱流方式（Class1,000-100,000），其详细区分如下表：

气流方式

洁净度

风速

(/s)

换气次数(次/h)

吹入口、吸入口

优点

缺点

价格比

垂直层流方式

Class1

-

100

0.25

-

0.40

200

-

600

吹出：天花板的80%以上。

吸入：壁板的40%以上，从侧面板亦可。

效果完全

不易被作业人员及作业状态所影响

开始运转后即刻变为稳定状态

粉尘的堆积及再漂浮极少

管理容易

需注意天花板部的无效空间（照明等）

换过滤器教麻烦

设备费非常高

房屋的扩充较困难

100

水平层流方式

Class1

0.45

-

0.50

200

-

600

吹出：壁板的80%以上。

吸入：壁板的40%以上，从天花板亦可。

运转开始后即刻变为稳定状态构造简单

上游的影响会在下游出现

人员及机器的配置及管理须注意

设备费非常高

房屋的扩充较困难

50-80

Class1,000

——

100

-

200

30-50

乱流方式(传统式)

Class1,000

-

100,000

——

30

-

60

吹出：过滤器吹出口较好。

吸入：从地板附近。

构造简单

设备费低

房屋的扩充比较容易

若再加用无尘台可确保高洁净度

由于气流的乱流污染粒子有可能在室内循环

到稳定状态须花一段时间

人员及机器的配置及管理须注意

10-40