广州帕纳光电科技有限公司

TCP-600， TCP-5000
PFEIFFER / BALZERS TURBO PUMP CONTROLLERS TCP-015
PFEIFFER / BALZERS TURBO PUMP CONTROLLERS TCP-40
PFEIFFER / BALZERS TURBO PUMP CONTROLLERS TCP-120
PFEIFFER / BALZERS TURBO PUMP CONTROLLERS TCP-121
PFEIFFER / BALZERS TURBO PUMP CONTROLLERS TCP-300
PFEIFFER / BALZERS TURBO PUMP CONTROLLERS TCP-380
PFEIFFER / BALZERS TURBO PUMP CONTROLLERS TCP-310
PFEIFFER / BALZERS TURBO PUMP CONTROLLERS TCP-600

涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用。然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。经调查发现碳氢化合物的来源，50%是操作失误所带来的问题，如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时，没有控制返流的安全阀，不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染。