江苏实为半导体科技有限公司-中山MOCVD加热器配套设备生产厂家1234a3211
是国内前列的MOCVD等半导体设备的核心部件和耗材供应商。由唐山实为半导体和海外专家陈景升共同投资组建,公司注册资金2000万,总部在邳州,并在苏州设有办事处。我国的半导体制造业在近年有了长足发展,但所使用的设备还主要来自国外,如MOCVD主要从美国和德国进口。1234a3211
VeecoSomitJoshi在“用于提高功率器件性能的硅基氮化镓MOCVD进展”的演讲中表示,新兴的中/高电压应用在电力供应,替代能源以及数据中心,都需要更高的功率效率,满足较高的工作温度以及更小的系统规模。氮化硅在这些参数上远远好于硅。1234a3211
由于工艺的严苛要求,这些设备在使用过程中有些关键部件只有一定寿命,需要定期更换。同时这些部件的技术升级对于提升设备整体的性能非常有效。目前这些备件主要是从国外大量进口,价格昂贵并且技术升级缓慢,国产化替代的需求十分强烈,市场前景非常广阔。结合我司技术团队多年在国外从事半导体研发的经验,通过刻苦攻关,我司填补了国内商用大功率MOCVD加热器的空白,受到客户的高度肯定。-中山MOCVD加热器配套设备生产厂家1234a3211通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(10-100Torr)下通H2的冷壁石英(不锈钢)反应室中进行,衬底温度为500-1200℃,用射频感应加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方),H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。1234a3211
掺杂源有两类,一类是金属有机化合物,另一类是氢化物,其输运方法分别与金属有机化合物源和氢化物源的输运相同。1234a3211
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