江苏实为半导体科技有限公司-肇庆MOCVD加热器配套设备批发1234a3211
是国内前列的MOCVD等半导体设备的核心部件和耗材供应商。由唐山实为半导体和海外专家陈景升共同投资组建,公司注册资金2000万,总部在邳州,并在苏州设有办事处。我国的半导体制造业在近年有了长足发展,但所使用的设备还主要来自国外,如MOCVD主要从美国和德国进口。1234a3211
主要特性如下:1234a3211
1、已通过量产验证,在短时间内设备即可到较理想的工艺水平1234a3211
2、产品经过多道化学清洗,并使用超声波处理,氮气加热烘干后在氮气柜中保存1234a3211
3、隔热板材料使用高纯钼,不含任何PBN,较之前寿命提升30%-50%,维护保养更加方便1234a3211
4、线圈加热重新设计,B区在原来的基础上加大,使加热器温度分布更大更均匀,效率更高1234a3211
5、支撑及固定点重新设计,整个加热器不易变形,更加持久耐用1234a3211
6、维护更加方便快捷,可以有效的降低成本1234a3211
目前我司已量产MOCVD之关键组件如加热器、整流罩、过滤器等产品,并正在开发和推广刻蚀用托盘和静电吸盘、离子注入机的离子源等产品。我司的目标是成为中国领先的半导体设备备件和耗材供应商,不但为客户提供全面而可靠的产品,还要通过客制化服务,为客户提供更为优化的核心部件以提升机器的整体性能,为客户提供高附加值的服务,实现双赢的局面。-肇庆MOCVD加热器配套设备批发1234a3211通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(10-100Torr)下通H2的冷壁石英(不锈钢)反应室中进行,衬底温度为500-1200℃,用射频感应加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方),H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。1234a3211
掺杂源有两类,一类是金属有机化合物,另一类是氢化物,其输运方法分别与金属有机化合物源和氢化物源的输运相同。1234a3211
【云端系统代发】-肇庆MOCVD加热器配套设备批发