江苏实为半导体科技有限公司-深圳MOCVD加热器生产配套设备厂家1234a3211
是国内前列的MOCVD等半导体设备的核心部件和耗材供应商。由唐山实为半导体和海外专家陈景升共同投资组建,公司注册资金2000万,总部在邳州,并在苏州设有办事处。我国的半导体制造业在近年有了长足发展,但所使用的设备还主要来自国外,如MOCVD主要从美国和德国进口。1234a3211
主要特性如下:1234a3211
1、已通过量产验证,在短时间内设备即可到较理想的工艺水平1234a3211
2、产品经过多道化学清洗,并使用超声波处理,氮气加热烘干后在氮气柜中保存1234a3211
3、隔热板材料使用高纯钼,不含任何PBN,较之前寿命提升30%-50%,维护保养更加方便1234a3211
4、线圈加热重新设计,B区在原来的基础上加大,使加热器温度分布更大更均匀,效率更高1234a3211
5、支撑及固定点重新设计,整个加热器不易变形,更加持久耐用1234a3211
6、维护更加方便快捷,可以有效的降低成本1234a3211
目前我司已量产MOCVD之关键组件如加热器、整流罩、过滤器等产品,并正在开发和推广刻蚀用托盘和静电吸盘、离子注入机的离子源等产品。我司的目标是成为中国领先的半导体设备备件和耗材供应商,不但为客户提供全面而可靠的产品,还要通过客制化服务,为客户提供更为优化的核心部件以提升机器的整体性能,为客户提供高附加值的服务,实现双赢的局面。-深圳MOCVD加热器生产配套设备厂家1234a3211反应气体经反应室后大部分热分解,但还有部分尚未完全分解,因此尾气不能直接排放到大气中,必须先进行处理,处理方法主要有高温热解炉再一次热分解,再用硅油处理也可以把尾气直接通入装有H2SO4+H2O及装有NaOH溶液的吸滤瓶处理也有的把尾气通入固体吸附剂中吸附处理,以及用水淋洗尾气等。1234a3211
一般MOCVD设备都具有手动和微机自动控制操作两种功能。在控制系统面板上设有阀门开关、各个管路气体流量、温度的设定及数字显示,如有问题会自动报警,是操作者能及时了解设备运转的情况。此外,MOCVD设备一般都设在具有强排风的工作室内。1234a3211
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