南昌英天特实验设备有限公司

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  • 产品产地:深圳
  • 产品品牌:英天特
  • 包装规格:hyt3
  • 产品数量:大量
  • 计量单位:平米
  • 产品单价:电谈
  • 更新日期:2018-07-21 00:18:17
  • 有效期至:2019-07-21
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 鉴定超微粒子浓度所需的采样体积是在规定U描述条件下可测得最少20个粒子的有效空气体积,最小体积(立方米)由20/U(x)计算得到,计算结果无须取整,但任何条件下都不得小于0.00283立方米。    采样时间可通过采样体积除以采样速率来计算得到。 5.1.3.4.4.连续采样计划  鉴定洁净度等级在M2.5级及以上(10级以上)的空气的另一种方法是使用附录F中所述的连续采样方法(连续采样是鉴定洁净度等级在M2.5级及以上的空气的一种可选方法),连续采样的优点是它有可能显著地减少每一个采样点的采样体积,同时也减少采样时间。 5.1.4.              数据处理      

5.2              悬浮粒子洁净度的监测 

   鉴定之后,如果有规定,则应在运行期间对洁净室或洁净区内悬浮粒子的洁净度进行监测。为了说明悬浮粒子洁净度的变化趋向,对5.1.2.2节中所列的其他环境参数也可按规定进行监测。 5.2.1.  监测计划 

   监测计划应根据悬浮粒子洁净度级别和生产过程及产品保护对污染控制的需要程度来制定,监测计划应规定监测频度、操作条件、粒子记数方法、采样点及其数量、采样体积及其数据处理方法。 5.2.2.                监测用的粒子计数 

   按规定,监测计划中的粒子记数应采用5.3节的一种方法进行,粒子浓度的测量应在整个洁净区内,或在洁净度要求特别关键的地方,或者在测定鉴定测试中发现粒子浓度较高的地方进行。 5.3.                     测量悬浮粒子浓度的方法和装置 

测量悬浮粒子浓度的方法和装置应根据粒子尺寸和要求的粒径来选择,除了有其他规定的,下面的方法适用于鉴定空气中悬浮粒子的洁净度和U描述,同样也适用于空气洁净度的监测。如果证明其他的粒子记数方法或设备以及其他的方法和设备的组合的精确度和重复性等于或优于以下方法和设备的,那么也可以采用。 

用来确定悬浮粒子浓度的设备应按规定根据制造厂家的说明正确维护并定期效验。 5.3.1.                大于等于5微米的粒子的计数 

   对于大于等于5μm的粒子,其浓度确定应使用附录A中的方法(使用光学显微镜对悬浮粒子进行计数和测量)。 

   另外,如果下面所述的样本收集、传送和测量过程都满足规定要求,那么可以使用离散粒子记数器。根据附录B中的方法(离散粒子记数器操作法),对于大于5μm的粒子,离散粒子计数器的计数效率是可确定的。离散粒子记数器只有在大于5μm的粒子计数时才能使用。 

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