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压力传感器的原理和应用
压力传感器是具有电源、接口电路、执行器、微型传感器和信号处理的微型的机电系统。它可以使用在制作工艺和电路设计上,低成本而高精度地进行大量的生产。其实传统的压力传感器是在当金属弹性体受到外力的作用而导致变形的时候,经过机械量的弹性的变形,然后待电量转换之后再输出,因此,MEMS压力传感器的优越性有很多,尺寸很小,性价比很高。它主要分为两种:硅电容式和硅压阻式。 根据MEMS的有关技术,制造出电容式传感器的形状为横隔栅状的,上面跟下面的两根横隔栅就可以组成一组传感器。
当上横隔栅受到压力作用的时候,就会向下移动,接着,就会使上面跟下面的两根横隔栅之间的距离发生改变,换句话说,板之间的电容量就会发生变化。硅压阻式压力传感器使用了精密度很高的半导体电阻应变片来形成惠更斯电桥,这样就可以利用它来作为力电变换来测量有关的电路。它的成本较低、功耗较低、测量的精密度较高。这种传感器,如果压力没有发生变化,那么它的输出就为零,所以几乎是不需要耗电的。 而MEMS硅压阻式压力传感器就是应用了四周的固定、形状为圆形的应力杯硅薄膜的内壁,同时应用的有关技术,可以直接地把四个精密度高的半导体应变片直接地刻制到它的表层应力最大的地方,这样就可以形成惠更斯电桥,因此可以作为力电变换来测量电路了,这是直接地把压力转换成为电量而测量的。
压力传感器的应用非常广泛,工业电子:工业配料称重、数字流量表以及数字压力表等等。消费电子:太阳能热水器用液位控制压力传感器、洗碗机、饮水机、洗衣机、空调压力传感器,微波炉、健康秤以及血压计等等。汽车电子:柴油机的共轨压力传感器、汽车发动机的进气歧管压力传感器、汽车刹车系统的空气压力传感器以及发动机的机油压力传感器等等。现在很多集成电路之中的四寸圆形的晶片的很多工艺都是MENS生产出来所用的。
传感器服务你左右
现在,3D传感器和加速计等MEMS器件正在包括手机、游戏机、玩具、GPS、笔记本电脑以及硬盘等在内的新兴应用中迅速扩张;医疗电子,尤其是便携医疗电子市场也将对各种新型传感器产生巨大的需求。而传感器最大的应用市场——汽车——也正呈现出电子化、智能化越来越明显的趋势,在汽车动力系统中,凸轮和曲轴传感器因为与汽车的“心脏”发动机密切相关,成为动力系统的关键;在安全管理系统中,压力传感器实现侧气囊控制;车门模块中,车门把手、车窗控制上使用了直流马达位置传感器;变速箱通过使用2轴或3轴角度/线性传感器;被动安全装置包括座椅承重的检测、安全带打开/扣住的监测、座椅位置调节的检测(保证气囊系统的有效保护)等等。
传感器技术的最大特点就是不断引入多学科的新技术发展新功能,现在,随着电子、MEMS(微机电系统)、生物技术、物理、化学、光学等等技术的飞速发展,以及人类对自然变化认知的深入,传感器技术已经进入由传统向新型突破的关键阶段,预计未来传感器技术发展将呈现出微型化、数字化、多功能化、智能化和网络化等趋势。
PY210简介:
采用进口扩散硅感压芯体,全不锈钢封焊结构,具有良好的防潮能力及优异的介质兼容性,适用于介质压力微弱的负压压力场合的测量与控制。
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主要技术参数:
被测介质: 气体、液体及蒸气
压力类型: 表压 绝压 差压
量 程: -100KPa-0.6Mpa~60 Mpa,0~±10KPa~±100KPa间任意可选
输 出:4~20mA(二线制)、0~5VDC、0~10VDC、0.5~4.5VDC(三线制)
综合精度: ±0.1%FS(量程10MPa以上)、±0.25%FS、±0.5%FS
供 电: 24V Dc(9~36VDC)
绝缘电阻: ≥1000 MΩ/100VDC
负载电阻: 电流输出型:ZUI大800Ω
电压输出型:大于50KΩ
介质温度: -20~85℃、-20~150℃、-20~200℃、-20~300℃(可选)
环境温度:-20~85℃
储存温度:-40~90℃
相对湿度: 0~95% RH
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