佛山市南海罗村炫辰钛金厂

XCTG-5+1 XCTG-6～9+2
镀膜室规格 ∮700～800mm×800～880mm ∮900～1000mm×1000～1200mm
极限真空度 ≤7.6×10-4Pa
冷态抽真空时间 从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟
机组配置 KT-400扩散泵机组 KT-400/ KT-500扩散泵机组
靶配置 5个电弧靶1个磁控靶 6-9个电弧靶2个磁控靶
配电要求 KW KW
设备用途 适用于各类工具镀镀膜要求，可镀制DLC、TiN、TiCn、CrN、AlTiN、CrAlTiN等功能膜层
备注 可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标专用设备。可加装磁控靶、中频孪生对靶等。