东莞市至成真空科技有限公司

多弧离子镀膜设备：我们在该镀膜设备的设计与加工方面已经成熟，已稳定在工具镀膜被覆处理多种超硬陶瓷薄膜包括氮化钛（Tin）、碳化钛（Tic）、氮碳化钛（TiCn）、氮化锆（Zrn）、氮化铬（Crn）、氮化铝钛（TiAln）等。经适当的薄膜加工后的工件，可以提高3至10倍的寿命。可以降低成本，提高生产效率，改善产品质量。广泛应用：工艺陶瓷，切削刀工具业：如硬质合金、钻头、铣刀等刃具。精密模具业：冲棒标准件模具、成型模具等。汽车工业：活塞、活塞环等易磨损零件。

本公司可根据客户要求设计各种规格型号的真空镀膜机，真空机组及电控系统也可根据用户要求进行设计配置

 

型号JTL-800 JTL-1000 JTL-1250

 

真空室尺寸￠800×1000MM￠1000×1000MM￠1250×1100MM

 

镀膜方式及主要配置

 

六个多弧源+一套圆柱靶+一套平面矩形磁控溅射靶

 

八个多弧源+一对孪生（中频）磁控溅射靶+一套平面矩形磁控溅射靶

 

十二个多弧源+一对孪生（中频）磁控溅射靶+两套平面矩形磁控溅射靶

 

镀膜方式及主要配置

 

电弧电源、直流磁控电源、中频磁控电源、灯丝电源、脉冲电源、线性离化源

 

工艺气体控制质量流量计+电磁陶瓷阀

 

真空室结构立式侧（单）开门结构，后置抽气系统，双层水冷

 

真空系统组成分子泵+罗茨泵+机械泵（5.0×10-4PA）

 

工件烘烤温度常温到500度可调可控(PID控温),辐射加热

 

工件运动方式公自转变频调速,0~20转/分

 

测量方式数显复合真空计:测量范围从大气至1.0×10-5PA

 

控制方式手动/自动/PC/PLC+HMI/PC四种方式可选

 

备注以上设备可按客户实际及特殊工艺要求设计订做