上海铂鳞贸易有限公司

美国MKS INSTRUMENTS电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术等改善了设备的完好率和产品成品率，提高了生产产量和产品性能．
  美国MKS INSTRUMENTS目前产品主要包括：压力测量和控制系列的电容薄膜压力传感器、模拟和数字压力控制仪器和阀等提供半导体工艺上、下游压力控制设备；质量流量控制器测量和控制半导体工艺中各种高纯度、高精度气体流量；射频、直流及脉冲等离子电源、匹配器及测试工具为半导体工业提供了可靠的固态电源；STEXI系列产品提供诸如用于工艺腔清洁的ASTRON氟离子发生器，用于去胶工艺的R*EVOLUTION等离子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON气态和LIQUOZON液态臭氧发生器；另外美国万机仪器MKS NSTRUMENTS还提供更广泛的真空产品、气体分析仪、静电控制、控制及信息技术等系列解决方案。


主要产品：MKS流量计,MKS薄膜真空计,MKS传感器,MKS开关,MKS压力传感器,MKS真空硅,MKS发生器,MKSMKS氟离子/臭氧反应气体发生器,MKS压力控制阀

相关系列与型号介绍：621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,
148J,154A/B,179A,180A,185A,248A/D,641A/B,649A/B,748A,1150C,1152C,1179A/B,1479A,1480A,
1485A,1559A,1640A,2179A,DPCA,FRCA,GE,GM,M10MB,M100B,M200,M330,M330AH-XXX-CE,MC20,P4B,P5A,P6A,P8A,P9B,PCA,P99A,P250A,VODMC,VPR3A,41/42A/B,51/52A/B,120A,120D,121A,
141A,142A,146C,220D,221B,228A,230E,226A,430E,590A,615A,616A,622A/B,623A/B,624A/B/D,
625A/B/D,626A/B,627A/B/C/D/E,628A/B/C/D/E,629A/B/D,631B/C/D,660B,670B,690A,698A,722A/B,
727A,728A,740B/C,742B/C,750B/C,752B/C,840B,842B,850B,852B,870B,872B,890B,891B,892B,893B,
CV76XX,D24B/D,D25B/D,D27B/D,D28B/D,DMA/B,E27B/C/D/E,E28B/C/D/E,E29B/D,IDA76XX,LDM-A/D,PDR2000,PR4000,R740B/C,R742B/C,R750B/C,R752B/C R840B,R842B,R850B,R852B……

压力测量及控制
薄膜电容式高精度压力传感器（温度控制在45℃）

690A系列
690A.1TRC 690A.1TRCB 690A.1TRCA 690A01TRC 690A01TRB 690A01TRA 690A11TRC 690A11TRB 690A11TRA 690A12TRC 690A12TRB 690A12TRA 690A13TRC 690A13TRB 690A13TRA 690A53TRC 690A53TRB 690A53TRA 690A14TRC 690A14TRB 690A14TRA 690ARBTRC 690ARBTRB 690ARBTRA 690A24TRC 690A24TRB 690A24TRA 690ARCTRC 690ARCTRB 690ARCTRA

590A系列
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698A系列
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