KINNEY KC和KTC型双级滑阀真空泵
KC和KTC型滑阀泵是机械式真空泵中可获得最低压力的泵,推荐应用于工作压力低于0.1Torr(0.13mbar)的工况。
由于滑阀与泵腔之间充满了油而且没有金属与金属间的接触,该系列双级泵特别的可靠和经久耐用。除了KTC-112泵是水冷系统(风冷系统供选择),其它型号的KC和KTC泵都是风冷系统。
标准产品都配置可调式气镇阀,可以处理含水蒸气或其他蒸气的介质。
KTC泵三联滑阀设计确保泵自身动态平衡,事实也证明该泵在运行中没有振动。
典型应用:
制冷系统排气
液态气体储存
制动液加液系统
低压化学蒸气沉积(LPCVD)
硅晶生长
泄露检测
型号
CFM/m3/h
HP/kW
KC-5
5/8.5
0.33/0.25
KC-8
8/14
0.5/0.37
KC-15
15/25
1/0.75
KTC-21
21/35
1.5/1.1
KTC-60
60/102
3/2.2
KTC-112
107/182
7.5/5.5
型号
CFM/m3/h
HP/kW
KC-5
5/8.5
0.33/0.25
KC-8
8/14
0.5/0.37
KC-15
15/25
1/0.75
KTC-21
21/35
1.5/1.1
KTC-60
60/102
3/2.2
KTC-112
107/182
7.5/5.5
型号
CFM/m3/h
HP/kW
KC-5
5/8.5
0.33/0.25
KC-8
8/14
0.5/0.37
KC-15
15/25
1/0.75
KTC-21
21/35
1.5/1.1
KTC-60
60/102
3/2.2
KTC-112
107/182
7.5/5.5
型号
CFM/m3/h
HP/kW
KC-5
5/8.5
0.33/0.25
KC-8
8/14
0.5/0.37
KC-15
15/25
1/0.75
KTC-21
21/35
1.5/1.1
KTC-60
60/102
3/2.2
KTC-112
107/182
7.5/5.5
型号
CFM/m3/h
HP/kW
KC-5
5/8.5
0.33/0.25
KC-8
8/14
0.5/0.37
KC-15
15/25
1/0.75
KTC-21
21/35
1.5/1.1
KTC-60
60/102
3/2.2
KTC-112
107/182
7.5/5.5