Surftest
(表面粗糙度测量仪)
SJ-500, SV-2100
178
系列
—
带有专用控制 /
显示装置
技术参数 :
SJ-500
X
轴 (驱动部)
测量范围 :
50mm
分辨率 :
0.05μm
检测方法 :
线性编码器
驱动速度 :
0 -
20mm/s
测量速度 :
0.02
- 5mm/s
移动方向 :
向后
直线度 :
0.2μm
/ 50mm
定位 :
±1.5°
(倾角、有
DAT
功能)
30mm
(向上/向下)
检测器
范围/分辨率 :
800μm
/ 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm
/ 0.0001μm
检测方法 :
无轨/有轨测量
测力 :
4mN
或 0.75mN
(低测力型)
测针针尖 :
金刚石、90o
/ 5μmR
(60o
/ 2μmR:
低测力型)
导头曲率半径 :
40mm
检测方法 :
差动电感式
控制器
显示 : &nb