MF-U
176
系列
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高倍率多功能测量显微镜
特点
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亮视场、大视野观察可得到清晰、无闪
烁的正像。
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使用长工作距离的目镜,放大倍率可达
20X
(总倍率:4000X)。
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和高级检测显微镜一样采用校正光学系
统 (FS
系列)。
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亮/暗视场观察,偏光观察和微
分头干涉对比 (DIC)
观察。
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使用立柱两侧的微调/粗调旋
性能参数
MF-UD
176-593*
XY
工作台移动范围
50
x 50mm
Z
轴移动范围
150mm
分辨率
(可转换)
0.001mm
/ 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
测量精度 (20oC
时)
XY
轴:(2.5
0.02L)μm, L
无负载测量长度 (mm),
JIS B 7153
指示精度 (20oC
时)
Z
轴:(5
0.04L)μm, L
为测量长度 (mm)
浮动功能
带有快速断开功能的 X
和 Y
轴
XY
工作台台面尺寸
280
x 280mm 280 x
280mm 350 x
280mm 410 x
342mm