湖北武汉三工光电设备制造有限公司

SET3/1064/532/355，SFT3：激光微调机/激光修阻机/激光调阻机/激光刻阻机 

产品特点： 

--调阻精度高：先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束；四线制高速测量系统，测量时间仅为25us；拥有软件预调误差补偿功能； 

--调阻速度快：先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度；德国进口扫描振镜，扫描速度极快；高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快； 

--可靠性高：整机配置核心器件均采用原装进口配置；采用花岗岩台座，稳定可靠； 

--功能强大：拥有温度实时补偿功能；同时具有激光划片和打标功能； 

--运行及维护成本低廉：采用半导体端面泵浦或光纤激光器；使用寿命长，性能稳定；电光转换效率高，节约用电成本；采用风冷系统，无须外置冷却设备；操作简单，无须高额培训成本； 

技术参数： 

--激光器系统： 

激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器 

激光波长：1064/532/355nm 

激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355) 

激光频率：200Hz-50KHz 

典型光斑尺寸：30μm 

实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12μm 

泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时 

冷却方式：风冷 

对焦方式：计算机程序控制 

--激光束定位系统： 

激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格） 

点到点运动时间：5ms（典型） 

最大速度：7000mm/s 

重复定位精度：2.5μm 

激光束最小步进：0.76μm 

--图像监视系统： 

监视方式：激光同轴监视 

最大放大倍数：>100倍 

图像监视显示屏：19寸液晶 

--测量系统： 

激励方式：电流/电压激励 

恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择 

恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围） 

电阻测量方式：四线制加电流测电压 

直流电压测量：10mV~10V（满程电压） 

调节对象发热控制：程序可设定 

电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）      

中阻：<0.05% 

高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ） 

电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ 

电阻测量速度：25μs 

直流电压分辨率：0.16μV（在10mV满量程条件下） 

探针板：44针11组四线制（可选其它规格） 

探针板运动：计算机程序控制 

--计算机及软件系统： 

工业控制计算机（双核），17寸液晶 

操作系统：Windows XP 

VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大 

--分步重复运动系统： 

运动XY范围：290x260mm 

运动分辨率：1μm 

定位精度：小于6μm（带误差补偿） 

重复定位精度：小于3μm    

最大运动速度：900mm/s 

具有温度补偿等功能 

--非接触温度测量： 

温度测量精度：0.2℃ 

调阻温度修正：计算机程序控制 

--其它技术指标： 

供电电压：220V AC 

整机功耗：小于1000W 

应用和市场：主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、军工科研、片式电阻等行业。