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   工业生产中会产生各种半导体废气治理废气,主要包括各种烃类、醇类、醛类、酸类、酮类和胺类等。能给人的呼吸、血液、肝脏等系统和器官造成暂时性和性病变,一些半导体废气治理具有恶臭污染和有害气体的两重性;还有一些半导体废气治理废气治理会引起温室效应,国内专业的废气处理的方法主要是回收法,它又包括炭吸附、变压吸附、膜分离技术等。(1)炭吸附,炭吸附是目前最广泛使用的废气回收技术,其原理是利用吸附剂(粒状活性炭和活性炭纤维)的多孔结构,其废气处理设备的尺寸和费用正比于气体中VOC的数量,却相对独立于废气流量;因此,炭吸附床更倾向于稀的大气量物流,适于喷漆、印刷和粘合剂等温度不高,湿度不大,排气量较大的场合,尤其对含卤化物的净化回收更为有效。(2)冷凝技术,冷凝法是最简单的废气回收技术,将废气冷却使其温度低于半导体废气治理的露点温度,使半导体废气治理冷凝变成液滴,从废气中分离出来,直接回收。但这种情况下,离开冷凝器的排放气中仍含有相当高浓度的VOC,不能满足环境排放标准。要获得高的回收率,冷凝法主要用于高沸点和高浓度的VOC回收。(3)膜分离技术,该技术结合压缩冷凝和膜分离两种技术的特点,来集成实现废气分离。用压缩机先将进料气提高到一定压力,然后将进料气送到冷却器冷凝,使部分VOC冷凝下来,冷凝液直接放入储罐。离开冷凝器的非凝气体仍含相当数量的半导体废气治理,并具有很高的压力,可以作为膜渗透的驱动力,使膜分离不再需要附加的动力。该系统的特点是末渗透物流的浓度独立于进料气的浓度,该浓度由冷凝器的压力和温度决定。(4)变压吸附技术,该技术利用吸附剂在一定压力下,先吸附半导体废气治理废气治理。当吸附剂吸附饱和后,进行吸附剂的再生。再生不是利用蒸汽,而是通过压力变换来将半导体废气治理脱附。当压力降低时,半导体废气治理从吸附剂表面脱附放出。其特点是无污染物,回收效率高,可以回收反应性半导体废气治理废气治理。但是该技术操作费用较高,吸附需要加压,脱附需要减压,环保中应用较少。在我国废气治理企业已经从聚烯烃装置的冲洗气中回收烯烃单体和氦气。在环保领域,从加油站废气回收碳氢化合物;从制冷设备、气雾剂及泡沫塑料的生产和使用过程中回收CFC,从PVC加工中回收氯乙xi单体。此技术非常有前途,随着新高效膜的出现和系统造价的降低,它会成为一种重要的废气回收手段。
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