半导体电阻率测试仪http://www.ruike17.cn/nbruike-Products-17372932/主要技术指标:
电源:220V交流
可测晶片直径(最大)Ф100mm,方形230×220mm
恒流源:电流量程为0.01~1mA连续可调,误差≦±0.5%。
数字电压表:量程:0.1~200mV,最大分辨率:100μV
电阻率显示:三位半数字显示:小数点、极性、过载、自动显示0.01-199.99欧姆。
输入抗阻:0.2mV和2mV量程:>108Ω
测量精度:±0.1。
最大电阻测量误差(按JJG508-87进行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%读数±2个字。
重掺检测误差(JJG508-87进行):1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
测量环境:温度23±2℃,相对湿度≤65%
半导体电阻率测试仪将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换,在计算机控制下进行两次电测量,能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。半导体电阻率测试仪因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。
半导体电阻率测试仪产品出处http://www.chem17.com/st262489/