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化学气相沉积炉应用领域

化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。

化学气相沉积炉产品规格

产品型号/规格W×H×L(mm)

600*600*1000

800*800*1200

1000*1000*1500

1200*1200*2500

1500*1500*3000

2500*2000*3600

装载重量(KG)

350

800

1500

2500

5000

10000

最高温度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

温度均匀性(℃)

±7.5

±7.5

±7.5

±10

±10

±15

加热功率(kw)

250

360

480

600

900

1200

极限真空度(Pa)

20

20

20

20

20

20

压升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。

化学气相沉积炉主要配置

u  炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧

u  炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

u  炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC

u  加热器：等静压石墨/模压三高石墨