爱德华 EDWARDS 真空泵 EH250罗茨真空泵
技术数据
容积(工作容积) 
50Hz310m3h-1/185ft3min-1
60Hz375m3h-1/220ft3min-1
使用后备泵时的有效抽取速度 
E1M40或E2M40240m3h-1/141ft3min-1
E1M80或E2M80274m3h-1/161ft3min-1
泵的压差 
50Hz0-180mbar/0-140Torr
60Hz0-150mbar/0-115Torr
入口连接ISO63
出口连接ISO40
转速? 
50Hz0-2900rpm
60Hz0-3500rpm
连续入口操作压力0-1000mbar/0-760Torr
出口压力1000mbar/760Torr
推荐的后备泵GV80,E1M/E2M40,E1M/E2M80
电源电压,3相 
50Hz220–240V/380–415V
60Hz230V/460V
马达功率 
碳氢化合物2.2kW/3hp
PFPE2.2kW/3hp
ATEX2.2kW
防爆型3相
环境温度范围 
操作5至40°C/40至104°F
存储-10至80°C/14至176°F
操作湿度90%RH
推荐用油 
标准型Ultragrade20
PFPE版本FomblinYVAC16/6
油容量 
联结器箱1.5升/1.6qt
轴杆封口储油器0.125升
重量*69kg/152lb
应用
分析仪器
超高速离心机
覆层
脱气/硫化-油,环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
气瓶充气/排空
凝胶体干燥
手套式操作箱,干燥炉
实验室工作台上真空
氦检漏仪
负载锁和传输腔
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
电子扫描显微镜-SEM
SEM/FIB(离子束维修)
溶剂回收
表面科学仪器
涡轮分子前级泵
功能和优势
适用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的压力范围下、需要超过3000m3h-1/1776ft3min-1的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到***低。
轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。