深圳市鼎极天电子有限公司

面铜探针组件：SRP-4探针，台式测厚仪CMI760/CMI563专用，也就是SRP-4探头前端的水晶头。

英国Oxford牛津SRP-4面铜探头（CMI700/CMI600/CMI563/专用）

英国Oxford牛津SRP-4面铜探头（CMI700/CMI600/CMI563/专用）

  SRP-4面铜探头测试技术参数

专用于Oxford牛津CMI760(CMI700)座台式孔面铜测厚仪

  l 准确度：5%，参考标准片

l 精确度：化学铜：标准差0.2 %，电镀铜：标准差0.3 %

l 分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm< 10μm，0.001μm< 1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils< 1mil

l 厚度测量范围：化学铜：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）

电镀铜：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）

l 线性铜线宽范围：203μm–7620μm（8mil–300mil