表面异物分析是什么意思    具体的解答如下
 
 
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当材料及零部件表面出现未知物质,不能确定其成分及来源时,可以通过对异物进行微观形貌观察和成分分析进行判断。
分析方法:
根据样品实际情况,以下分析方法可供选用。
仪器名称
信号检测
元素测定
检测限
深度分辨率
适用范围
扫描电子显微镜(SEM)
二次及背向散射电子&X射线
B-U  (EDS  mode)
0.1  -  1  at%
0.5  -  3  µm  (EDS)
高辨析率成像
元素微观分析及颗粒特征化描述
X射线能谱仪(EDS)
二次背向散射电子&X射线
B-U
0.1  –  1  at%
0.5  –  3  μm
小面积上的成像与元素组成;缺陷处元素的识别/绘图;颗粒分析(> 300nm)
显微红外显微镜(FTIR)
红外线吸收
分子群
0.1  -  1  wt%
0.1  -  2.5  µm
污染物分析中识别有机化合物的分子结构
识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体(材料识别)
量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢  (Si-H  vs.  N-H)
污染物分析(析取、除过气的产品,残余物)
拉曼光谱(Raman)
拉曼散射
化学及分子键联资料
> =1  wt%
共焦模式
1到5  µm
为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和无机化合物的分子结构
拉曼,碳层特征  (石墨、金刚石  )
非共价键联压焊(复合体、金属键联)
定位(随机v.  有组织的结构)
俄歇电子能谱仪(AES)
来自表面附近的Auger电子
Li-U
0.1-1%亚单层
20  –  200  Ǻ侧面分布模式
缺陷分析;颗粒分析;表面分析;小面积深度剖面;薄膜成分分析
X射线光电子能谱仪(XPS)
来自表面原子附近的光电子
Li-U化学键联信息
0.01  -  1  at%  sub-monolayer
20  -  200  Å(剖析模式)
10  -  100  Å  (表面分析)
有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析
测量表面成分及化学状态信息
薄膜成份的深度剖面
硅  氧氮化物厚度和测量剂量