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[供应]株洲铂金零件加工铂网铂箔白金靶材白金颗粒厂家

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产品产地：东莞
产品品牌：鼎伟
包装规格：非标
产品数量：8566532
计量单位：片
产品单价：256
更新日期：2017-04-17 15:33:03
有效期至：2018-04-17
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株洲铂金零件加工铂网铂箔白金靶材白金颗粒厂家详细信息

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”，8“发展到12”，而布线宽度由0.5um减小到0.25um，0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

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