MOK碳化硅密封环
指标名称 无压烧结碳化硅 反应烧结碳化硅 加碳碳化硅
纯度(%)碳化硅量 >97 >90 含碳量30%
硬度(HRA) ≥90 ≥90 ≥85
颗粒度(um) 0.5-0.7 8月20日 20-40
密度(g/cm3) 3.06-3.15 >3.05 >2.65
抗弯强度(MPa) 400-580 350-450 200
抗压强度(MPa) 3900 >2500 1800
断裂强度(MPA) 3.05-4.6 4.3
弹性模量(GPA) 380-410 420
热传导系数(W/M.K) 102.6 35-110 125
热膨胀系数(L/°C) 4.02x10-6 4.3x10-6 3x10-6
泊松比 0.14 0.15