GB/T 14599-2008 纯氧、高纯氧和超纯氧检测
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项目名称 超纯氨
氨(NH3)纯度(体积分数)/10-2 ≥ 99.99999
氢(H2)含量(体积分数)/10-6 < 0.01
氧+氩(O2+Ar)含量(体积分数)/10-6 < 0.01
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 < 0.01
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 < 0.01
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 < 0.01
烃(C1~C3)含量(体积分数)/10-6 < 0.01
水分(H2O)含量(体积分数)/10-6 < 0.05
总杂质含量(体积分数)/10-6 ≤ 0.1
满足标准:
GB/T 8979-2008《纯氮,高纯氮,超纯氮》
GB/T 14599-2008《纯氧、高纯氧和超纯氧》
GB/T 14604-2009 《电子工业用气体 氧》
GB/T 4844-2011《纯氦、高纯氦和超纯氦》
GB/T 3634.2-2011《纯氢、高纯氢、超纯氢》
GB/T 4842-2006《氩》
GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩》
GB/T 14601-2009《电子级工业气体氨》
Q/320507 LAS03-2011《7N超纯氨》
HG/ 3633-1999《纯甲烷》
GB/T 8984-2008《气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法》
GB/T 14601-2009《电子工业用气体氨》
GB/T 23938-2009《高纯二氧化碳》
电子级工业气体氨(GB/T 14601-2009)
7N超纯氨(Q/320507 LAS03-2011)
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