详细描述 仪器特点 ◆ 超精密全自动测量,四轴CNC控制; ◆ 精密花岗岩机台,精度高、稳定性好; ◆ 三轴THK精密直线导轨、精密传动系统; ◆ Renishaw开放式光栅尺,精度高、稳定性好; ◆ TZTEK自动变倍光学镜头,可实现自动变倍测量; ◆ 程控式6环8区环形表面光源,LED轮廓光源,同轴光源; ◆ 自动对焦测高,可加装接触式测头; ◆ 提供多种行程规格配置,如222、322、432、542等。 技术参数 型号 VMU222 VMU322 VMU432 VMU542 行程(mm) 200×200×200 300×200×200 400×300×200 500×400×200 外部尺寸(mm) 1040×740×1620 1040×740×1620 1240×800×1620 1440×1000×1680 重量(kg) 240 250 310 400 承重(kg) 25 25 25 25 测量精度 XY轴* E2=(1.5+L/300)μm E2=(1.9+L/300)μm Z轴** E1=(5.0+L/200)μm 速度 XY轴 200mm/S Z轴 100mm/S 光栅尺 0.1μm Renishaw光栅尺 导轨 THK 图像传感器 高清晰彩色专用工业摄像机 光源 轮廓光 LED冷光源,256级亮度可调 表面光 6环8区LED冷光源,各段独立操控,256级亮度可调 同轴光 LED冷光源,256级亮度可调 光学镜头 12.5:1连续变倍 放大倍率*** 光学放大倍率:0.6~7.5×;影像放大倍率:18~230× 软件 Vispec测量软件(VMU版) 运动控制 自主专利的CNC直流伺服系统 保修期 1年 工作环境 温度20℃±2℃,温度变化