广东中山市东晟真空设备有限公司

我公司设计制造的SV系列PVD多弧离子镀膜机主要由以下部分组成： 1．真空筒体：采用全不锈钢制造,双层水冷结构 2．抽气机组：采用旋片泵+罗茨泵+扩散泵组合的高效率真空机组 3．转架系统：采用不锈钢转架，自转与公转相结合的行星运转方式 4．水冷系统：采用全水套的水冷方式，冷却效率高 5．电源系统：设计先进，性能稳定可靠 6．进气系统：采用优质质量流量计结合自主研发的控制系统，确保进气量稳定准确 7．控制系统：设计结构先进，有手动控制和自动控制两种方式 8．弧离子源：设计独特，高离化率 等离子体钛金镀膜技术简介 一、等离子体钛金镀膜原理： 　　多弧离子镀膜是把真空弧光放电用于蒸发源的镀膜技术。即真空环境下引火器引燃弧光放电源（阴极）与真空室（阳极）之间形成自持弧光放电，使从阴极弧光辉点射出的阴极物质离子形成空间电荷层，产生强电场，使阴极表面上功函数小的开始发射电子；电流局部集中产生的焦耳热使阴极材料局部地爆发性地等离子化，发射电子和离子，同时也放出熔融的阴极材料，在工件偏压的作用下与反应器件化合而沉积在工件表面上，从而在工件上形成被镀的膜。 二、等离子体镀膜的特点： 　　1、直接从阴极产生等离子体； 　　2、入射粒子能量高，膜的致密度高，强度和耐久性好； 　　3、离子率高，一般可达60~80%，因此最大优点是蒸镀速率快。 三、等离子体镀膜应用： 　　1、在金属表面镀钛金膜可大大提高其硬度和防腐耐磨性，提高使用寿命。在表壳、表带、眼睛架、健身球、首饰、灯具、餐具、工艺美术品上镀制氮化钛膜，其效果可与黄金媲美，具有广泛的实用价值。 　　2、工具、刀具、模具上镀制氮化钛膜可使其使用寿命增加5倍左右，最高可达8~10倍。