广州谭美电子科技有限公司

Hitachi FE-SEM 4500电子扫描显微镜

型号：    Hitachi  FE-SEM 4500
原设备制造商：Hitachi
类别：电子扫描显微镜        量测设备
状态：专业翻新 (U.S.A.) 
交货期： 8周
技术指标：等于原厂技术指标
Wafer 尺寸：小样品
安装服务： 包括
保修期： 验收后30. 保修合同可选
产品技术指标（英文）： Performance:                         
  Secondary electron image resolution: 1.5 nm at 15kv                                       
  Magnification: 20X - 500KX                         
  Electron Optics:                                         
  Electron gun: Cold field emmission source                         
  Lens type: electromagnetic                         
  Objective aperture: 4 position externally selectable                       
  Stigmator: Octopole electromagnetic                                           
  Scanning coil: 2-stage electromagnetic                                   
Sample Chamber                                   
  Size: Type I                           
  Airlock: prepumped， max sample size:50 mm diameter                               
  Stage motion: 5 axis manual                                             
                      X/Y: 25 mm， Z: 3-28 mm， T: -5Deg - +45 Deg.， R: 360 deg continuous           
  Draw-out door: Max sample size:150 mm dia.                                     
  Size: Type II                         
  Airlock: prepumped， max sample size:100 mm or 150 mm diameter                                       
  Stage motion: 5 axis manual                                             
                      X/Y: 100mm/50 mm， Z: 3-33 mm， T: -5 Deg - +60 Deg.， R: 360 deg continuous     
                                             
Display system:                                         
  Image display: Dual 12" monitors                               
  Scanning mode: Normal， reduced area ， line scan， photo scan， spot position， split screen                                             
  Scanning speed: TV， 0.3， 2， 9， 25， 35， 100， 160 320 s/frame                            &