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LM滚珠滚动块 LR1547Z LR2055Z LR2565Z LR3275Z LR50130 LRA1547Z LRA2055Z LRA2565Z LRA3275Z LRA4095 LRA50130 THK直线导轨的材料与测量 THK直线导轨是集精密位置检测技术、驱动技术、直线导向技术、控制技术等多项技术为一体的有机综合体。在这些技术中，如果某一个方面得到改进或提高，将使THK直线导轨整体性能得到提高。如，当工件台驱动方法是采用直接驱动而不是间接驱动时，由于减少了传动链长度和传动环节中的误差传递，将使工件台的精度、速度和加速度性能都得到提高。因此应当及时引用新材料、新技术来满足工件台发展的需要。 　　研究光刻技术的同时，也积极开展对工件台的研究，不断研制出高精度、高速度、大行程的工件台来满足光刻技术发展的需要。在过去的几十年里，应用于光刻技术中的THK直线导轨在材料、测量技术、驱动技术、控制技术等方面有了长足的进步，使工件台朝高精度、高速度、大行程的方向发展。现列举如下: 　　1.材料. 　　工件台中所用的材料直接影响着工件台的性能，如，应尽量采用低密度、高刚度的材料，这样可以减轻系统的重量，提高整个系统的刚度，从而提高工件台的动态性能。为此，通常采用铝合金、碳化硅等密度小、杨氏模量大的材料 为了减少温度、振动等外界环境对工件台精度的影响，对工件台所在的环境要采取严格的温度控制和隔振措施 在工件台的测量系统中常用殷钢作为基座，采用零膨胀玻璃作为基准反射镜材料。近年来研究人员利用Zerodur(微晶玻璃材料的一种)的低膨胀系数和良好的加工性能，加工制作工件台中的测量部件和其他重要零件。表1-1列举了工件台中常用的几种材料的特性。 天津昶晟隆机械配套设备商贸有限公司，是日本THK集团，韩国SBC线性导轨滑块，台湾HIWIN导轨滑块，银泰PMI直线导轨，ABBA直线导轨，CPC直线导轨，TBI线性滑轨，STAF直线导轨的代理销售商。如贵公司长期使用特定的型号、定期维修需要的配件，可以跟我司销售人员联系，我公司可以提前给您备货，以满足您正常生产使用的需要。欢迎您通过以下方式与我公司联系。 地址：天津南开区密云路39号 电话：022-27695326 传真：022-27693648 邮箱：tjcsljx@126.com 联系人：张先生(13821823302) QQ咨询：1873330965 、1398217820 、 761233601 天津昶晟隆网址:http://www.tjcsl.cn