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顶针／大力针／ＢＧＡ探针／梅花头探针／平头探针／ＦＣＴ本发明涉及一种测试探针装置及其制造方法，尤其是一种构造简单、制作容易、检查时无接触抵抗，可以提高检查可靠性的测试探针装置及其制造方法，其特征在于：在前述探针装置的上侧安装了具有可以接触被测物的接触端子的探针部位，前述探针部位下端延伸出可以提供弹性力的弹簧部位并与其成为一体，使电流从被测物通到前述弹簧部位的下侧。本发明的探针部位的下侧与弹簧部位成为一体，构造简单，制作容易，量测电流从探针部位直接进入弹簧部位而消除接触抵抗，信号路径短而提高检查可靠性。