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激光扫描显微镜的优势 非接触式、无损、快速成像和测量 ○ 非接触式、无损测量 激光扫描显微镜（LSM）采用低功率激光，不接触样品。因此，不像基于探针系统的接触式表面粗糙度测量仪那样存在损坏样品的风险。 ○ 无需前期准备即可成像 扫描电子显微镜（SEM）在观察之前需要进行前期的样品准备，如真空脱水和/或切片处理，使之适合样品室。而LSM则无需前期的样品准备即可对样品进行测量。而且，将样品放置在载物台上之后，即可直接开始成像。 卓越的XY测量 ○ 在XY平面精确测量亚微米级的距离 干涉仪是基于普通白光的光学显微镜，它的平面分辨率不高。而LSM通过采用更大数值孔径的物镜和更小波长的光波，极大地提高了平面分辨率。并且通过高精度的激光控制技术，获得更为精确的样品表面形貌。根据拍摄到的图像，LSM可以进行非常精确的XY平面亚微米测量。LEXT OLS4100达到了0.12��m的平面分辨率。 联系人 区经理 电话 13823581593 QQ 2868059266 地址 深圳市福田区八卦三路88号荣生大厦702室 固定电话：0755-25870896 网址 www.ges-tech.cn