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[供应]供应PECVD装片房

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产品产地：中国
产品品牌：无
包装规格：无
产品数量：0
计量单位：台
产品单价：0
更新日期：2014-09-29 09:11:19
有效期至：2015-09-29
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供应PECVD装片房详细信息

PECVD装片房
PECVD装片房用途规格：

?   能准确的使石墨舟承载装片车定位

?   能够使用石墨舟承载车在里面倾斜15度或旋转180度

?    配置经中效、高效过滤器过滤后的净化空气根据要求定时向机内循环吹风

PECVD装片房技术要求：

?    整个冷却房采用不锈钢制作，保证整个设备坚固可靠

?    节电效果，小车进入后自动启动吹风，冷却到规定时间或小车离开自动停止吹风

?    为防止被小车撞击后移动，减震地脚选用能安装膨胀螺钉的地脚

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