PECVD冷却房
用途与规格:
? 适合于长1196mm规格的石墨舟的装片和冷却
? 外形效尺寸:L1600*D960*H2750mm
? 高级不锈钢板SUS304# 方通和板料,经氩弧密实焊接制作而成
? 装片台采用SUS.304带孔板制作,高低及倾斜角度可调
? 承载车进出及定位方便可靠,制作有缓冲块,并有接近开关检测
? 大风量高压离心风机,风量大于1000m3/h,向下吹风
? 中效过滤器,过滤等级99%
设备特点:
整个冷却房采用不锈钢304制作,保证整个设备坚固可靠;
吹进空气必须经过过滤网过滤;
顶部装有吸风罩和排风机;
为达到节电效果,装有自动装置,当小车推进冷却房后自动启动,冷却到规定时间或者小车离开冷却房都能自动停止;
净化风机噪音小于50dB; 风叶保证每个部分都能吹到。