苏州市艾姆阿欧机电设备有限公司

石英管清洗机
石英管清洗机为浸泡式清洗机，用于晶体硅电池线上管式PECVD石墨舟的清洗，有四个清洗工位。
清洗工艺：上料－HF酸浸泡洗－纯水浸泡洗－喷淋－下料
一. 主要参数：
清洗槽数量：2
最大石墨舟片长度：1320 mm
清洗槽尺寸（长*宽*高）：2850X500X520
槽体材质：进口PP
柜体材质：进口PP
PP气动隔膜泵：流量 50L/min，德国VERDERAIR VA15, PP材质
去离子水压力  0.3Mpa
去离子水流量  >20L/min
去离子水接口：1” PP管
压缩空气压力  0.5-0.7Mpa
控制系统：PLC可编程控制，松下PLC，松下液晶触摸屏
外型尺寸（长*宽*高）mm：3800*1410*1950
功率：100w，220V
二. 性能及结构特点：
本设备主要有本体槽体部分、管路系统、控制系统组成。