晶片表面层原子因垂直切片方向的化学键被破坏而成为悬空键,形成表面附近的自由力场,尤其磨片是在铸铁磨盘上进行,所以铁离子的污染就更加严重。同时,由于磨料中的金刚砂粒径较大,造成磨片后的硅片破损层较大,悬挂键数目增多,极易吸附各种杂质,如颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格。硅片清洗的目的就是要除去各类污染物,清洗的洁净程度直接决定着ULSI向更高集成度、可靠性、成品率发展,这涉及到高净化的环境、水、化学试剂和相应的设备及配套工艺,难度越来越大,可见半导体行业中清洗工艺的重要性。
(http://www.sdcx.com.cn/zh-CN/displaynews.html?newsID=100076416&newsTypeID=100008022)
二十多年来,顺德大良长兴电子不断投入科研开发资金,致力于超声波焊接机、超声波清洗机的开发和应用。我们将以“一流的产品,一流的技术,一流的服务”作为对用户的承诺,以“凭信誉立口碑,靠质量求发展”为宗旨,为广大新老客户提供更优质的服务。希望以上介绍的“硅片超声波清洗技术”对您会有所帮助。
联系电话:0757-27339010
qq:1425767289
邮箱:cxa@sdcx.com.cn
网址:www.sdcx.com.cn
地址:顺德伦教永丰工业区