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臭氧（O₃）是氧的同素异形体，它是一种具有特殊气味的淡蓝色气体。臭氧是一种强氧化剂，它在水中的氧化还原电位为2.07V，仅次于氟（2.5V），其氧化能力高于氯（1.36V）和二氧化氯（1.5V），能破坏分解细菌的细胞壁，很快地扩散透进细胞内，氧化分解细菌内部氧化葡萄糖所必须的葡萄糖氧化酶等，也可以直接与细菌、病毒发生作用，破坏细胞、核糖核酸（RNA），分解脱氧核糖核酸（DNA）、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的代谢和繁殖过程遭到破坏。可见，臭氧浓度过高对环境及人体健康有很大影响，而高浓度臭氧的鱼腥味也让人们难以忍受。

通常干燥空气或干燥氧气作通过放电后会产生臭氧。如大量复印机、印刷机、传真机等机器，以及吸尘器、空气清洁器的使用，通过电晕放电而产生臭氧；此外，臭氧杀菌消毒领域在杀菌后会残留高浓度臭氧。

臭氧分解催化剂可以加速臭氧快速分解为氧气，从而减小臭氧的危害性。