多晶硅定向凝固炉
设备用途及简介
本设备为立式结构,具有高真空、充气及高温熔化定向凝固等功能。是多晶硅原料熔化及成锭的的优选设备。在添加等离子加热源后可满足部分提纯要求。设备具有自动控温、快速升温冷却、快速升降取锭、超压保护等功能。同时设有操作平台方便操作及维护。
主要技术参数
1、 电源额定容量:160KW
2、 中频感应加热或电阻加热(可选)
3、最高温度:1600℃ (90kg)
4、 控温精度:±3℃(热电偶)
5、 进出坩埚方式:炉底升降
6、 炉底最大位移:1000mm
7、极限真空度:≤6.67*10-3Pa(5*10-5乇)
8、定向凝固速度:5-25mm/小时