北京辰泰克仪器技术有限责任公司

1  仪器的用途及使用范围
ZDF-5227Ⅱ型复合真空计由双路电阻规(ZJ-52T)与单路电离规(ZJ-27)组成，用于1.0×105～6.6×10-6Pa之间的压力测量，适用于真空应用、真空获得等需要实时监测真空与控制输出的设备制造行业，包括半导体制造、镀膜设备、真空排气台、真空冶炼设备等生产车间及大专院校、科研院所实验室。仪器使用环境条件在5℃～35℃，相对湿度在80%以下，无强磁场及剧烈震动的场合。

2  主要技术性能规范
2.1  测量范围                 电阻部分观测范围：1.0×105～1.0×10-1 Pa 
电阻部分测量范围：3.0×103～1.0×10-1Pa
电离部分：1.3×100～6.6×10-6 Pa
2.2  测量精度                 电阻部分:≤±50%
                              电离部分：≤±5%
2.3  电源                      ～220V±22V  50Hz ±1Hz 
2.4  电离规管发射电流         1.3×100～1.3×10-1 Pa  100μA
1.3×10-1～6.6×10-6 Pa  1mA  
2.5  加速极对地电压          225V±2V
2.6  灯丝对地电压             25V±1V
2.7  收集极对地电压          0V
2.8  除气电压                ～8V±2V 
2.9  仪器外形尺寸             装架式： 90mm×480mm×280mm
2.10  仪器开孔尺寸            88mm×440mm
2.11  仪器重量                5Kg