产 品 详 细 介 绍
碳化硅密封环
指标名称 无压烧结碳化硅 反应烧结碳化硅 加碳碳化硅
纯度(%)
碳化硅量 >97 >90 含碳量30%
硬度
(HRA) ≥90 ≥90 ≥85
颗粒度
(um) 0.5-0.7 8-20 20-40
密度
(g/cm3) 3.06-3.15 >3.05 >2.65
抗弯强度
(MPa) 400-580 350-450 200
抗压强度
(MPa) 3900 >2500 1800
断裂强度
(MPA) 3.05-4.6 4.3
弹性模量
(GPA) 380-410 420
热传导系数
(W/M.K) 102.6 35-110 125
热膨胀系数
(L/°C) 4.02x10-6 4.3x10-6 3x10-6
泊松比 0.14 0.15