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主要特点：
HIS 13 
HIS 13高强度紫外光源具有极高的光强、优秀的He II/He I比、和极小的离散角。压电点火装置、对准和点火控制观察窗、以及内置的皮拉尼计等使操作变得十分简便。另外还可以根据需要选配超环面反射聚焦镜和线性极化器等。 DAR 400 DAR 400双阳极X光源具有可靠、稳定的性能，可以提供高强度、低干扰的Al Ka或Mg Ka X射线。其最大功率可达400 W，而且设计有高性能的水冷，避免了对样品的加热效应，同时延长使用寿命。 

XM 1000 XM 

1000是最新型的单色X光源。500mm直径罗兰圆、四块石英晶体和300W/600W双工作模式的设计使XM 1000不但具有极小的展宽，同时具有极高的X光强度。可以大大提高XPS分析中的能量分辨率和灵敏度。

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