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防静电精益工作台第一品牌【科碧乐,刘先生,0755-28033353】质量认证,企业全球化的通行证,也是企业管理的起点
半导体在生产制作的过程中也要保持结晶状态,任何细小的污染都会直接导致产品的报废,所以半导体工业建造了带有过滤天花板夹层和过滤墙体的车间。然而一个主要的问题是当从小加工车间扩建为有更多工人工作的大型车间后,很难保持其固有的洁净度。早期半导体工业把带过滤天花板夹层和墙体的方法演化为洁净工作台法。这个主要是把过滤器装在单个工作台上,如单人单面净化工作台或者单人双面净化工作台,并使用无脱落的物质。在工作台以外,晶圆被装在密封的盒子中储存、运输。
在大型车间中按顺序排列的工作台(叫做工作罩)组成加工区,使晶圆依工艺次序经过而不从露于空气中。洁净工作罩中的过滤器是一种高效颗粒搜集过滤器(HEPA过滤器)。这些过滤器是由含许多小孔,并按手风琴琴叶折叠的脆性纤维组成,由于高密度的小孔与大面积的过滤层,使得大量的空气低速流过。由于低速空气可避免产生空气流,有利于工作台的洁净度,并且对于操作员而言,在舒适的环境中工作也是必要的。典型的空气流量为每分钟90到100英寸。HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率,并可用于三种净化方法中。
净化工作台的方法还可应用于现代晶圆加工设备中。在每台设备上安装VLF或HLF式工作台来保持晶圆在装卸过程中洁净。
公司名称:深圳市科碧乐科技有限公司
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负责人:刘先生
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