日本小金井精密不锈钢调压阀PRS系列液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中传送气体的压力控制、喷气压力控制,洁净空气、气体压力控制等的高精度设定(感度0.001MPa)。
日本小金井精密不锈钢调压阀PRS系列
FRL (终端过滤器(精密过滤?減圧阀))
在线过滤器PLF系列
●采用多孔中空丝膜滤芯,保证了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
●过滤精度高、小型流量大、寿命长
●是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器
过滤精度
处理空气量
配管连接口径
0.01μm
50~100 l/min
M5.Rc1/8
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