排气处理中使用椰壳活性炭的优点

半导体产业的干式排气处理中广泛使用椰壳活性炭的主要原因，有如下七点：
　　(1)化学性质稳定
　　(2)价格便宜
　　(3)有活性力
　　(4)比表面积大
　　(5)供给稳定
　　(6)安全性好
　　(7)比重比较轻
　　干式排气处理方式有两种．一种是利用具有这些优点的椰壳活性炭本身的吸附机能及触媒机能的方式；另一种是利用通过添加成分提高了吸附机能及触媒机能的机能性椰壳活性炭的方式。半导体产业中一般使用成型椰壳活性炭及破碎状颗粒活性炭，几乎不使用蜂巢状活性炭及其他考虑压力损失等的特殊形状的椰壳活性炭。这是因为，所使用的半导体产业的气体中，特别是需要处理的气体，大多数是无机系的气体，无论是进行吸附反应还是进行触媒反应，无机反应产物都附着在椰壳活性炭表面上，总表面积等比压力损失更加重要的缘故。
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